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半導體工業(yè)的廢氣如何處理

未知, 2022-08-08 08:52, 次瀏覽

  半導體工業(yè)的廢氣如何處理
  半導體指的是在常溫下導電性能介于導體與***緣體之間的一種材料,主要應用于集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、***功率電源轉換等***域,在半導體工業(yè)加工的過程中將會有部分的氣體排出,那半導體工業(yè)的廢氣有毒嗎,怎么處理***?
 
 
  半導體工業(yè)在加工的過程中會使用到光刻膠、蝕刻液、清洗劑、顯影劑等溶劑,而這些溶劑是含有***量的有機物成分,排放出來的廢氣含有HCl、氨、HF等危險污染物,而主要處理的是具有揮發(fā)性的VOCs。
 
  溫馨提示:VOCs污染物為有機化合物,在濃度較高且有火花或靜電情況下,極易發(fā)生閃爆現(xiàn)象。
 
  半導體在制造過程中一般的污染源包括顆粒污染物、金屬離子和化學物質等,而這些都是屬于有害的污染物。
 
  半導體廢氣處理方法根據(jù)工業(yè)廢氣成分進行廢氣處理設備的選擇:
 
  沸石轉輪吸附濃縮裝置:主要用于有機廢氣的治理, ***別適合于***風量,低濃度場合;
 
  噴淋塔:對于含有酸性/堿性物質的廢氣 ,半導體廠封閉車間***都采用***型臥式洗滌塔進行廢氣處理。
 
  TO直燃爐(催化燃燒裝置):對***風量、低濃度的VOCs廢氣,TO直燃爐一般會搭配沸石轉輪使用。
 
  半導體工業(yè)廢氣是具有毒性的,不同的工業(yè)采用的工藝原材料不同,因此采用的廢氣處理設備以及工藝都是不一樣的,具體的解決方案可咨詢宏森環(huán)保的在線工程師。


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